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上海化工研究院有限公司于1970年开始从事PSA技术研发,包括制氮机、变压吸附制氮机、模块化制氮机,并进行小试实验;80年代初,首套变压吸附制氮制氧一体装置应用于石化行业；80年代末，形成了NGN系列制氮机及OXG系列制氧机。
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